安泰科2-8寸碳化硅晶片碳化硅衬底碳化硅晶圆SIC外延科研实验
3寸Sic碳化硅外延晶片直径76.2mm4H-N型Mos级Zero级
1-8英寸半绝缘型碳化硅SiC衬底晶片器件制造外延生长半导体科研材
8寸碳化硅外延片0直SiC晶片μ径200mmQVV厚度50m4H-N型