等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用书张海洋等 工业技术书籍
【纸版图书】JJF1160-2006中小规模数字集成电路测试设备校准规范
光刻机 主要用于中小规模集成电路 半导体元器件
JJF 1160-2006 中小规模数字集成电路测试设备校准规范